专精特新，创新研发|航天裕达闪耀亮相SEMICON China 2026
2026年3月25日—27日，全球规模最大的半导体专业展会“SEMICON China 2026”在上海新国际博览中心隆重举办。本届展会以“跨界全球・心芯相联”为主题，上海航天裕达科技有限公司（以下简称“航天裕达”）携核心产品残余气体分析仪（RGA）系列产品闪耀亮相，受到行业广泛关注与好评。
残余气体分析仪（RGA）是集成电路制造装备的核心关键部件，也是先进制程中保障芯片良率的重要支撑。产品广泛应用于ALD、CVD、PVD等薄膜沉积工艺及干法刻蚀工艺，可对真空腔室内残余气体成分实现实时、精准监测。航天裕达深耕质谱仪自主研发十余年，拥有RGA产品多项自主知识产权，近年来，公司坚持以市场需求为导向，通过航天技术应用转化，持续优化产品性能与品质，着力打造集成电路领域的“拳头产品”。本次参展，进一步扩大了公司在集成电路制造领域的品牌影响力，彰显了企业开拓新赛道、布局新领域的核心优势。
航天裕达位于中国上海市闵行区，是上海卫星装备研究所的全资子公司。公司成立于1993年，依托研究所在卫星研制领域深耕50年的技术力量和资源储备，专注于质谱仪及其核心部件、智能化真空应用装备、航天器热控器件及服务等核心业务，致力于建设成为“华东地区品牌最优的真空产业创新发展中心”。产品广泛应用于航天航空、医学医药、集成电路、科研院所等领域。并已被收录至工信部《产业基础领域先进技术产品转化应用目录》和《上海市创新产品推荐目录》。
“宇达真空”作为公司旗下的产业产品牌，其质谱仪产品已广泛应用于集成电路等领域与科研院所；真空应用设备已广泛用于航天产品的热真空和热平衡试验，同时能为客户提供全套智能集中监控系统解决方案。
未来，航天裕达将坚守初心、深耕主业，持续加大技术创新投入，充分发挥国家级专精特新“小巨人”企业优势，不断提升“ASVT 宇达真空”品牌影响力与行业知名度，助力国家科技产业高质量发展。
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